Es sind keine Großfabriken, über die Brüssel diesmal entschieden hat, sondern vier Spezialisten. Die Europäische Kommission hat Deutschland erlaubt, Anlagen von Element 3-5, Vishay Siliconix, KLA-Tencor und KETEK mit zusammen 659 Millionen Euro zu bezuschussen. Bund und die jeweiligen Landesbehörden teilen sich die Finanzierung.

Der größte Posten, 353 Millionen Euro, geht nach Baesweiler in Nordrhein-Westfalen. Element 3-5 will dort Epiwafer aus Siliziumkarbid herstellen — die Kommission spricht von einer „weltweit einzigartigen Fabrik". Solche Wafer sind die Grundlage besonders leistungsfähiger Chips und Sensoren, wie sie unter anderem die Autoindustrie verbaut. 214 Millionen Euro fließen nach Itzehoe in Schleswig-Holstein, wo Vishay Silizium-Leistungsschalter (Power-MOSFETs) des n- und p-Typs fertigt, ebenfalls vorrangig für Fahrzeuge.

Die beiden kleineren Vorhaben zielen auf Messtechnik und Spezialsensorik. KLA-Tencor erhält 74,4 Millionen Euro für eine Anlage im hessischen Weilburg, die optische Overlay- und Schichtmessgeräte baut — Werkzeuge der Prozesssteuerung und Qualitätssicherung, ohne die sich Halbleiter nicht in Masse fertigen lassen. KETEK bekommt 17,9 Millionen Euro für ein Werk in München, wo Siliziumdriftdetektoren und sogenannte Graphene Radiation Entry Windows entstehen sollen: hochspezialisierte Chips für industrielle Sortier- und Recyclinganlagen.

Ein Zehntel der Weltproduktion — angepeilt sind 20 Prozent

Warum das über vier Standorte hinausweist: Die EU fertigt derzeit rund zehn Prozent der Halbleiter weltweit und will diesen Anteil bis 2030 auf 20 Prozent verdoppeln. Der 2023 von Rat und Parlament verabschiedete Chips Act schuf dafür die Grundlage; rund 14 Milliarden Euro haben die Mitgliedstaaten nach Angaben der Kommission bereits in solche Projekte gelenkt, darunter Anfang 2025 eine Genehmigung über 227 Millionen Euro für ein österreichisches Werk, das optische Sensoren, LEDs, Laser und integrierte Schaltkreise produziert.

Dass es die Freigabe überhaupt braucht, hat einen Grund: In der EU gelten strenge Regeln für staatliche Finanzspritzen, damit finanzstarke Länder ihren Unternehmen keinen unverhältnismäßigen Vorteil verschaffen und Wettbewerber aus dem Markt drängen. Im Gegenzug haben sich die geförderten Firmen verpflichtet, positive Wirkungen auf die europäische Halbleiter-Wertschöpfungskette sicherzustellen und mit Hochschulen und Forschungseinrichtungen zusammenzuarbeiten.

„Wenn wir Innovationen im Halbleiterbereich unterstützen, stärken wir damit unsere technologische Souveränität und die Wettbewerbsfähigkeit Europas", erklärte Teresa Ribera, Exekutiv-Vizepräsidentin der Kommission.